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三、如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些。

1、判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类:气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。

简而言之，气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大)，但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞)，但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》，不再复述。

故在这品种型里通常见到的是两台串联后再用双级水环泵作前级泵组成机组。

(2)水环泵-大风泵机组:即便采纳双级水环泵，极限真空度的普及也只是在定然的规模之内，这是所以受到水的饱和蒸汽压的制约。综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。水环泵的实践极限压力就是水的饱和蒸汽压。那末思忖气体返流等成分的莫须有，理论上溯环泵的极限压力显著比该水温上的饱和蒸汽压力为高。为了普及前级泵的极限真空度，还能够使水环泵与大风泵组合运用。

那样，串联一级大风泵后的极限真空度可达20~30Torr,那末水环泵与二级大风泵组合，则极限真空可达2~10Torr。

(3)水环泵串联机械真空泵:此机组重要用来须要解决一大批水蒸汽，且极限真空度务求较高的抽真空零碎，比如在真空干涩上面。

选真空泵原则：

1. 满足要求

所选真空泵的性能应满足工艺流程设计要求。

2. 选真空泵从简

优先选择结构简单的真空泵。因为结构简单的真空泵与结构复杂的真空泵相比，前者具有可靠性高、维修方便、寿命周期内总成本低等优点。

（1） 有计量要求时，选用计量真空泵；

（2） 小流量高扬程时，选用旋涡真空泵、往复泵；