真空系统设计镀膜真空系统

三、如果是用微型泵抽气，情况稍微复杂些。

1、判断微型泵抽气端工况

用于抽气的微型泵分为两类:气体采样泵和微型真空泵。虽然通常总是不加区分地把它们简单统称为微型真空泵，但从技术角度二者是有区别的，选型时更要特别注意。

简而言之，气体采样泵只能带小负载(即:泵抽气端阻力不能太大)，但价格便宜;严格意义上的微型真空泵可以带大负载(抽气端允许大阻力，甚至完全堵塞)，但价格稍贵。二者具体区别可以详见文章《关于微型真空泵与气体采样泵的区别》，不再复述。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。一、2BA型水环式真空泵的概述:2BA型水环式真空泵适用于抽除气体和水蒸气，吸气压力可以达到33mbar绝压(97%真空度)。

真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）

真空泵机组的严密性要注意检查

　　真空泵机组的严密性是其一个重要的指标, 真空严密性应每月检测一次, 机组检修后更应核实真空度指标。无论什么情况，必须保持真空泵机组符合规划要求。

　　为了提高真空严密性, 真空泵机组应做大量工作。每次停机检修前, 都要进行仔细分析, 排出漏气疑点, 在检修中加以消除。其中包括采用灌guan水法, 对负压区发现的渗漏加以消除。

　　根据行业标准规定, 汽轮机真空下降速度合格标准平均不大于01266～ 01399 kPa?m in。每台机组配有2台各330kW真空泵, 每台真空泵为100%容量。按设计要求, 在正常情况下一台真空泵运行, 但实际难以维持真空度，不得不开两台真空泵。