德国莱宝真空泵维修真空系统设计“本信息长期有效”

应用范围

根据设计，SOGEVAC泵可用来抽空稳定气体，其工作范围为从大气压到泵极限真空之间的粗真空范围。

警告

SOGEVAC泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性的、或气体。

若存在有侵蚀性的，的，腐蚀的或气体，请与LEYBOLD公司联系。

根据设计，这些泵不能在或环境下工作。 若有问题，请与LEYBOLD公司联系。

当心

泵不适合抽空液体或含有灰尘的介质。必须引入相应防护措施。

如有问题，请与LEYBOLD公司联系。

在抽空氧含量高于大气（gt;20%）的气体或其它高活性气体之前，泵必须改型，除油，然后必须使用特殊油（例如PFPE）。

采取相应安全措施。

请与LEYBOLD联系以获取有关重要的安全说明书。

1.2 标准规格

处于备用状态的泵，电机随泵一起提供。随泵一起提供的还有GS77或等同的油已注入泵内。

连接口由塑料保护盖封住。在启动泵之前要去除这些塑料保护盖。

BOXER 系列（130 至 460 对/8 小时）Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼镜镜片镀膜的通用性高、生产力高且实用的中到大型平台。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通过若干级进行扩展的能力为基础，是满足个别生产（无论是 Rx 生产还是存货生产）需求的理想选择。BOXER 系列镀膜机进行的加工包括从经典的宽带减反膜到吸光层（防晒）。BOXER 系列还适用于洁净室用途。优化的设置提供出色的性能BOXER 系列采用位于镀膜腔中心的高功率电子枪，确保了基底上的镀膜材料的均匀沉积。紧凑式平台设计仅需少的占地空间且包括强大的真空泵、大效率迈斯纳冷阱和单或双石英晶体监视器以大程度提。不同的系统型号可提供灵活的应用BOXER 真空镀膜机提供四种不同的版本以满足客户的特定需要。如果对系统的需求随着时间变化，其硬件可轻松进行扩展，从而提高生产力。BOXER 900 采用更大体积的腔室，在产量方面经过优化，且可满足大批量的生产需求。提供无数定制选件，包括适用于无机玻璃应用的双石英晶体监视器、翻转布置以及加热系统。智能设计，易于维护BOXER 镀膜系统的矩形设计可方便腔室屏蔽的快速拆卸以进行清洗，而 BOXER 900 可通过屏蔽的滑动布置实现类似的轻松清洗。对于机械真空泵如旋片式真空泵应安装在清洁、干净的环境里，温度宜在15至40度范围之内。专门开发的“一键式修复”系统可方便基底支架的更换，由此有效地缩短基底传送的时间。

?真空泵油对真空泵的影响

真空泵油对真空泵的影响

对于真空泵油的高度，即泵的循环油量。旋片泵的循环油量也大，密封效果就越好，极限压力就越低:但是，由于在真空泵的运转过程中，旋片泵的真空泵油中吸收的空气和水蒸气会释放出来影响其极限压力，所以循环油量并非越大越好，应有一个合适的值。

油液循环量与旋片泵极限压力的关系

其中，理想状态下(油液不释放空气和水燕气)循环油量与极限压力的关系，即真空泵油越大极限压力越低:FG为实际情况(主要考虑空气和水蒸气的释放)下真空泵油和极限压力的关系，随着循环油量的增加而越来越高:FN.-To为综合考虑两点因素的影响时两者的关系图，在油量处于某一特定值时，极限压力低，其后随着油量的增加而升高。惠州市明胜机电设备有限公司***服务于真空泵领域内设备及配件的高科技企业，销售人员及技术人员已达30多人，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、推广、销售、安装及维修领域。

随着真空泵油的升高，油液的饱和蒸汽压也随之升高，挥发的气态油液也多，大大升高旋片泵的极限压力，所以应该尽可能的降低油液的温度以降低旋片泵的极限压力。目前采用的方法主要包括对泵油实施水冷或风冷、增大散热片等。

***空间对真空泵极限压力的影晌

***空间的存在也会升高旋片式真空泵的极限压力.***空间是指旋片式真空泵的转子与定子在定子内腔顶端的接触点a到排气口之间的空间，如图2.9。莱宝光学自上世纪70年代末在我国树立办事机构展开到2006年在北京正式成立设备装置和服务公司，至今已与我国客户并肩走过了30余年。这个空间内的气体在循环终结时，难以从排气口派出.在旋片继续旋转的压缩作用下，会从a点接触点的间隙溢出，从顶点溢出的气体进入吸气腔，从而升高旋片式真空泵的极限压力.可以通过对***空间填充油液或者在该空间的侧板上开导气槽(在自润滑的干式泵中采用)

来解决。

莱宝真空泵油的性能：

。机械真空泵的特殊工作条件要求真空泵油应具有以下性能：（1）极低的蒸汽压：这是真空泵油的重要性能，由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求达到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，这就要求真空泵油的蒸发性极低，而且要求消耗量很少，以防蒸发。一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其它合成油。（2）合适的粘度和良好的粘温特性：真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和良好的粘温特性。（3）良好的热氧化安定性：真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解。而扩散泵往往处于很高的环境温度（可达200℃）下工作，使系统内蒸汽压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。（4）良好的抗腐蚀性与抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学变化，腐蚀泵内金属零件。另外，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性（水分离性能）。在真空脱水工艺使用的真空泵油的乳化更为突出。（5）较高的闪点：主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸汽压。1、检测真空泵的方法：将真空泵与其管道分离，用真空计直接测量真空泵进气口，如果泵真空度达到使用标准就排除了泵漏气的可能。（6）较低的极限压力：极限压力是真空泵油重要的使用性能指标，以了解在低真空极限压力下真空泵的极限压力。