爱德华真空泵报价真空除尘系统 明胜机电

沦分子泵是一套超高速、超真空的装置，它的旋转速度高达90000RPM（1500转／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十亿分之二个大气压），并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:S1,=2仇、 Vol卜(5。

五、罗兹泵

EDWA***在***早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用

六、真空计

爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设***的微处理器控制；

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。油中的氧化剂可让泵承受较高工作温度而不会造成油的退化，从而延长换油时间间隔。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设定点和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。5Kw20oC时的冷却水流量1lmin-11lmin-14lmin-14lmin-15。对于某些 CVD 制程，需要在温度设定点上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。