爱德华真空泵供货商罗茨油旋片真空系统 明胜机电

EDWARD E2M80 爱德华真空泵维修

惠州市明胜真空设备有限公司www.hzmszk.com真空泵维修服务：公司拥有一支强大、***维修进口真空泵技术***，特别精通于普旭(博世)BUSCH，莱宝Leybold，伟力Rietschle（里其乐），Becker贝克，EDWARD爱德华，ULVAC爱发科等进口真空泵的维修与***服务，欢迎广大业界人士来电来函，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与***满意的维修服务支持。其实，作为买家或者说消费者，我觉得应该是找那种***，技术水平高，***有保障，那才是我们的选则，毕竟真空泵还是属于设备类的，配件维修质量好，我们的机器才能更好的工作，才能保证我们的生产不耽搁。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。供应英国爱德华19号真空泵油，质量保证规格4L/208L现货，爱德华真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型号选用油号对用，因为真空泵油粘度不一样。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。2：凡使用我司的真空泵耗材，正常使用过程中，在保用期内出现任何质量问题我司将对其免费更换。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设定点和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。概述Edwa***是在一些***严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。对于某些 CVD 制程，需要在温度设定点上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。